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產品名稱：SIMCO離子發生器4214
產品型號：SIMCO 4214
產品廠商：美國SIMCO思美高靜電產品
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簡單介紹：

SIMCO離子發生器4214 很多高科技產業都依賴離子產生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率，降低停機時間和微控鎖定，和降低操作成本。但在微環境和制程設備內，有時會限制離子產生器安裝在它們*重要的生產空間內。SIMCO離子發生器4214

詳情介紹：

SIMCO離子發生器4214

Simco-Ion 沿線超高潔凈氮氣離子產生器型號 4214 是特別為了電離氮氣而設計，能把電離氮氣的離子送至超高潔凈要求

的半導體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮氣離子產生器都要求在氮氣流內加進少許氣體以產生離子，而這個先進工藝的離子產生器采用一個小而高效的電源，就可電離氮氣。

型號 4214 離子產生器利用高頻交流電離技術，能提供快速的消散時間，有效地中和靜電。微控處理和細小體積，能容易整合需要氮離子產生器的設備。超高潔凈的設計和內置微粒采集系統，能確保是*干凈的離子產生器，兼容和提供要緊半導體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮氣通過型號 4214，產生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class 1 潔凈度，適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術制程工作。

? Extended ISO Class 1 潔凈度*	? 提供*潔凈的離子產生器以符合超高潔凈要求的制程，是在22
? 警報顯示 - 低離子輸出量需維護，高壓電源失效，低氣體流量	nm和以下的所有晶圓技術中*理想的靜電中和工具
? 待機模式	? 恒常監控離子產生器的工作，以保障連續工作和維持在*理想的
? 自我平衡	效能
? 氣流量過低時自動關機	? 在待機模式下可減少用氣量，又可快速啟動離子產生器，迅即可
? 體積小巧	工作
? +24 VDC 電源輸入	? 免除調較和繁瑣的設定
? 避免損害產品	? 是針對設備內有限的安裝空間而設計
* 請看后頁有關 Extended ISO Class 1 潔凈度的定義	? 可輕易整合和利用設備上的電源

為了滿足現今更微小的先進技術制程，Simco-Ion 自定義了一個標準 - “Extended ISO Class 1”，它是用 ISO
14644-1 為基礎，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核計數器 Condensation Nucleus
Counter (CNC) 作測量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定義的，和利用它的潔凈度極限線集來作外延。當外
延時，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容許數量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 沒有更改 ISO
14644-1 標準，只是延伸方程式至更微細的微粒，更多關于ISO 14644-1 的資料

型號 4214 離子產生器是一個獨立的器件，能提供高壓電源，有超潔凈的離子產生元件，和界面接口可作遙控監察工作情況和控制離子產生，全都在安放在4214 小盒子內。用戶把氮氣輸入 4214，所產生的離子就可送到靜電敏感區或所需的制程，客制復合管道或噴嘴可對應覆蓋面積要求而設計。

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